Topic outline

  • Технологические процессы изготовления электронной компонентной базы приборостроения

    Д. В. Андреев

    Технологические  процессы  изготовления  электронной компонентной базы  приборостроения :  учеб.пособие  /  Д.  В. Андреев, А. Е. Курносенко, В.В. Макарчук, В. А. Соловьев – М. : Изд-во  МГТУ  им.  Н. Э. Баумана,  2023.  – 467 с. :  ил.  (Библиотека «Приборостроение», Том. 1 ). 
    ISBN 978-5-7038-3493-0
    ISBN 978-5-7038-3509-8

    Учебное  пособие по  дисциплине  «Технологические  процессы  изготовления электронной  компонентной базы  приборостроения»  содержит  нормативную  базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров,  лабораторных  работ  и  деловых  игр,  перечень  учебных  видео- и аудиоматериалов,  слайдов,  типовых  плакатов  и  другие  дидактические  материалы  для работы профессорско-преподавательского состава и студентов по данной дисциплине.

    Соответствует стандартам WorldSkills по компетенции «Производство и инженерные технологии»,  а  также  содержанию  и  уровню  подготовки  студентов  по  направлениям «Информатика и  вычислительная  техника»  и  «Приборостроение».  Может представлять интерес для преподавателей, студентов, а также специалистов, занимающихся вопросами приборостроения и созданием цифровых систем.

    Электронная версия учебного пособия имеет свободный доступ — ее можно читать, загружать, копировать, распространять, печатать и ссылаться на их полные или частичные тексты с указанием авторства без каких-либо ограничений. Тип лицензии CC: Attribution 4.0 International (CC BY 4.0).

    Библиотека Том 1 Андреев Курносенко и др

  • 1. Конспект лекций

    Основная  цель  дисциплины:  Изучение  основ  технологических процессов в  приборостроении в  частиэлектронной  компонентной базы приборов  и  систем: интегральных  схем,  микропроцессоров,  микро- и наносборок,  ознакомление  с  базовым  технологическим оборудованием, методами  проектирования  технологических  процессов производства электронной компонентной базы.


    Задачи дисциплины:
    — изучить  физико-химические  явления,  сопровождающие  операции технологического процесса изготовления электронной компонентной базы приборостроения;
    — изучить методику выполнения базовых технологических процессов: эпитаксии, избирательного легирования, литографии, формирования пленок, химической и ионно-плазменной обработки;
    — изучить  принципы  расчета  технологических  параметров  операций технологического процесса производства микросхем;
    — изучить   принципы   проектирования   технологических   маршрутов основных типов интегральных микросхем;
    — изучить  особенности  устройства  и  применения  технологического оборудования;
    — изучить    методику    контроля    технологических    параметров    и параметров формируемых структур.
    При  освоении  дисциплины  планируется  формирование  компетенций, предусмотренных  ОПОП  на  основе  СУОС  по  направлению  подготовки 12.03.01 «Приборостроение» (уровень бакалавриата).
    В конце каждой лекции приведены тесты для контроля знаний студентов, состоящие из вопросов и ответов на них, из которых следует выбрать один правильный.